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教授

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所在学科

MEMS与集成微系统

研究方向

MEMS、CMOS-MEMS 集成、集成无源器件、三维集成、惯性传感器、光学MEMS、声学MEMS、生物光子学、光学内窥显微成像、光通信、激光雷达、微型红外/近红外光谱仪

个人简历

教育背景：

本科，bob手机在线登陆，专业：微电子学

硕士，bob手机在线登陆，专业：半导体器件与物理

硕士，美国塔夫茨大学（TuftsUniversity），专业：光电子学

博士，美国卡内基梅隆大学（Carnegie MellonUniversity），专业：电子与计算机工程。

工作经历：

1992-1996年，清华大学微电子研究所，助研/讲师

2002-2007年，美国佛罗里达大学电子与计算机工程系，助理教授

2007-2011 年，美国佛罗里达大学电子与计算机工程系，副教授

2007-2020 年，美国佛罗里达大学电子与计算机工程系，终身教授

2011-2020 年，美国佛罗里达大学电子与计算机工程系，正教授

2020年-至今，bob手机在线登陆集成电路与电子学院，教授

2021年-至今，bob手机在线登陆重庆微电子中心，主任，首席科学家

兼职：

2001年5-8月，德国博世公司北美研究中心，实习工程师

2005-2020年，美国佛罗里达大学生物医学工程系，兼职教授

2005-2020年，美国佛罗里达大学Shands癌症中心，兼职教授

2007/2008/2009夏季，美国空军研究实验室，暑期研究员

2008-2012年，IEEE Gainsville分区主席

2009-2014 年，美国Moffit 癌症中心, 兼职教授

2013年1-5月，法国Femto-ST研究院及弗朗什-孔泰大学，访问教授

2018-2019年，bob手机在线登陆信息与电子学院，客座教授

2018-2021年，浙江大学生物医学工程与仪器工程学院，客座教授

代表性论著

1.D Wang, D Zheng, SJ Koppal, B Sun, H Xie, A Monolithic Forward-View Optical Scanner by a Pair of Upright MEMS Mirrors on a SiOB for LiDAR Applications, Journal of Microelectromechanical Systems 30 (5), 791-798 (2021).

2.H Wang, H Yang, Z Chen, Q Zheng, H Jiang, PXL Feng, H Xie, Development of Dual-Frequency PMUT Arrays Based on Thin Ceramic PZT for Endoscopic Photoacoustic Imaging, Journal of Microelectromechanical Systems 30 (5), 770-782 (2021).

3.Y An, B Sun, P Wang, L Xiao, H Liu, H Xie, A 1× 20 MEMS mirror array with large scan angle and low driving voltage for optical wavelength-selective switches, Sensors and Actuators A: Physical 324, 112689 (2021).

4.Y Cao, P Wang, J Li, H Xie, Temperature stability study of resonant angular scanning micromirrors with electrostatic comb-drive actuators, Sensors and Actuators A: Physical 318, 112525 (2021).

5.L Xiao, Y Ding, P Wang, H Xie, Analog-controlled light microshutters based on electrothermal actuation for smart windows, Optics Express 28 (22), 33106-33122 (2020).

6.L Zhou, X Yu, PXL Feng, J Li, H Xie, A MEMS lens scanner based on serpentine electrothermal bimorph actuators for large axial tuning, Optics Express 28 (16), 23439-23453 (2020).

7.H Wang, Z Chen, H Yang, H Jiang, H Xie, A ceramic PZT-based pMUT array for endoscopic photoacoustic imaging, Journal of Microelectromechanical Systems 29 (5), 1038-1043 (2020).

8.D Wang, L Thomas, S Koppal, Y Ding, H Xie, A low-voltage, low-current, digital-driven MEMS mirror for low-power LiDAR, IEEE Sensors Letters 4 (8), 1-4 (2020).

9.H Wang, Z Chen, H Xie, A high-SPL piezoelectric MEMS loud speaker based on thin ceramic PZT, Sensors and Actuators A: Physical 309, 112018 (2020).

10.D Wang, SJ Koppal, H Xie, A Monolithic Forward-View MEMS Laser ScannerWithDecoupled Raster Scanning and Enlarged Scanning Angle for Micro LiDAR Applications, Journal of Microelectromechanical Systems 29 (5), 996-1001 (2020).

研究成果

l发表科技论文300余篇

l授权美国专利18项，授权中国发明专利40余项

主持课题

l新型灵巧视场激光雷达及算法研究，美国海军研究办公室（ONR）（2018-2021;US$785,000;co-PI）光声显微成像与分子探针融合技术研究，美国卫生部（NIH）（2016-2021;US$2,594,000;co-PI）

l可用于自由移动小动物的头戴式双光子成像探头及系统研究，美国国家自然科学基金委（NSF）（2015-2019;US$399,000; PI）

l可用于微型振翼飞行器的分离式激光雷达技术研究，美国国家自然科学基金委（NSF）（2015-2019;US$401,000;co-PI）

l基于光学相干断层扫描技术的胃癌腔镜手术精准规划系统研发，国家重点研发计划-数字诊疗装备研发专项课题（2017YFC0108301，课题负责人）

lCMOS-MEMS-3D集成光学成像系统,科技委（2020-2025年，项目负责人）

荣获奖项

IEEEFellow

SPIE Fellow

学术兼职

Sensors & Actuators A，SCI，副主编，2018 -至今

IEEE Sensors Letters，SCI，副主编，2018-至今

Micromachines，SCI，编委，2017 - 至今

International Journal of Optomechatronics，SCI，编委，2016 - 至今